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Le Plasma : la réponse d’Air Liquide aux défis environnementaux de l’industrie des semi-conducteurs

Les procédés de fabrication de semi-conducteurs utilisent de plus en plus de molécules fluorées à fort potentiel d’effet de serre. L’industrie électronique, bien consciente de cet enjeu, a pris au plan mondial l’engagement très ambitieux de revenir en 2010 au-dessous du niveau des valeurs d’émission enregistrées en 1995.

Impliqué aux côtés de ses clients dans ce projet visant à mieux préserver l’environnement, Air Liquide Electronics a développé dans ses laboratoires une technologie innovante permettant de traiter ce type d’effluents : il s’agit de l’UPAS (Universal Plasma Abatement System). Ce procédé, qui utilise un plasma micro-onde à pression atmosphérique, permet d’obtenir des efficacités de destruction sensiblement améliorées par rapport aux technologies traditionnelles, tout en minimisant les coûts. L’UPAS est, en particulier, parfaitement adapté aux traitements des effluents de procédés de gravure. Pour les autres applications, Air Liquide propose une gamme complète de systèmes de traitement et de services associés, permettant à ses clients d’optimiser leur bilan environnemental.

« Air Liquide est fier d’être en mesure d’accompagner ses clients dans ce défi dont l’enjeu est la diminution progressive puis la suppression des émissions de gaz à effet de serre » déclare Christophe Fontaine, Directeur de l’Activité Electronique. « Les succès commerciaux déjà remportés dans ce domaine en Asie et en Europe pour le récent projet 300mm de Crolles 2 démontrent l’intérêt et la maturité du marché pour cette technologie innovante. Une preuve supplémentaire de l’action du Groupe en faveur du développement durable.»

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Leader mondial avec une présence dans 65 pays, Air Liquide fournit des gaz industriels et médicaux et des services associés. Grâce à des solutions innovantes s’appuyant sur des technologies sans cesse renouvelées, Air Liquide contribue à la fabrication de nombreux produits de la vie quotidienne et à la préservation de la vie.Créée en 1902, Air Liquide, qui compte 30 800 collaborateurs, développe avec ses actionnaires des relations de confiance et de transparence, dans le respect des principes de gouvernement d’entreprise. Depuis la publication des premiers comptes consolidés en 1971, le Groupe a maintenu une croissance régulière de ses résultats. En 2002, son chiffre d’affaires s’est élevé à 7 900 millions d’euros dont plus de 80% hors de France. Air Liquide est cotée à la Bourse de Paris et membre des indices Cac 40 et Eurostoxx 50 (code Euroclear 12 007).

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Pierre Perrin-Monlouis
Pierre Perrin-Monlouis
Fondateur de Rente et Patrimoine (cabinet de gestion de patrimoine), Pierre Perrin-Monlouis est un analyste et trader pour compte propre. Il vous fait profiter de son expérience en trading grâce à ses analyses financières et décrypte pour vous les actualités des marchés. Son approche globale des marchés combine à la fois l'analyse technique et l'analyse fondamentale sur l'ensemble des marchés : crypto, forex, actions et matières premières.
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